下载微型气压动力装置的技术资料

文档序号:25652130

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种微型气压动力装置,包括:微型流体控制装置,包括依序堆叠设置:进气板;一共振片、压电致动器,集气板其中该共振片与该压电致动器之间具有一间隙形成第一腔室,压电致动器受驱动时,气体由该进气板进入,流经该共振片,以进入该第一腔室内再传输,微型阀...
该专利属于研能科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过研能科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。