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微型气压动力装置制造方法及图纸
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下载微型气压动力装置的技术资料
文档序号:25652130
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一种微型气压动力装置,包括:微型流体控制装置,包括依序堆叠设置:进气板;一共振片、压电致动器,集气板其中该共振片与该压电致动器之间具有一间隙形成第一腔室,压电致动器受驱动时,气体由该进气板进入,流经该共振片,以进入该第一腔室内再传输,微型阀...
该专利属于研能科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过研能科技股份有限公司授权不得商用。
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