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本实用新型公开了一种适用于真空镀膜的衬底冷却装置，涉及真空蒸镀装置技术领域。用于真空镀膜的衬底冷却装置，包括基板、材料仓和降温腔，所述基板的内部开设有材料仓，材料仓周围开设有降温腔，所述基板的底部设置有第一降温管、第二降温管和第三降温管，所...
该专利属于云南北方奥雷德光电科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过云南北方奥雷德光电科技股份有限公司授权不得商用。

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