一种适用于真空镀膜的衬底冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种适用于真空镀膜的衬底冷却装置，涉及真空蒸镀装置技术领域。用于真空镀膜的衬底冷却装置，包括基板、材料仓和降温腔，所述基板的内部开设有材料仓，材料仓周围开设有降温腔，所述基板的底部设置有第一降温管、第二降温管和第三降温管，所述降温腔的内部开设有与第一降温管、第二降温管和第三降温管相适配的孔。适用于真空镀膜的衬底冷却装置，主要通过设置第一降温管内所通的高温水，对其所需要降温的材料进行小幅度的降温，其次，第二、三降温管进行缓慢的降温，对材料和坩埚起到了良好的保护作用，有效的避免了直接冷却降温对材料和坩埚本身造成的损害。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于真空镀膜的衬底冷却装置
本技术涉及真空蒸镀装置，具体为一种适用于真空镀膜的衬底冷却装置。
技术介绍
真空蒸镀主要以蒸发和溅射两种方式，常见的以电子束蒸镀、磁控溅射、真空离子蒸发等高真空镀膜装置为主。蒸发镀膜一般是加热镀膜材料使之气化，在基片表面凝聚成膜。对于溅射类镀膜，在真空腔体利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，形成薄膜。如电子束蒸镀、磁控溅射蒸镀过程中会产生较大的热量，若冷却不足，这种热量将使真空腔内温度急剧升高，影响镀膜质量。现有的真空蒸镀装置不具有良好的冷却效果，过快或过慢都容易损坏材料和坩埚，为解决这一问题设计了一种适用于真空镀膜的衬底冷却装置。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种适用于真空镀膜的衬底冷却装置，解决了现有的真空蒸镀装置不具有良好冷却效果的问题。为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种适用于真空镀膜的衬底冷却装置，包括基板（1）、材料仓（2）和降温腔，其特征在于：所述基板的内本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于真空镀膜的衬底冷却装置，包括基板（1）、材料仓（2）和降温腔（3），其特征在于：/n所述基板（1）的内部开设有材料仓（2），所述基板（1）的内部材料仓周围开设有降温腔（3），所述基板（1）的底部设置有第一降温管（4）、第二降温管（5）和第三降温管（6），三个降温管结构相同；所述降温腔（3）底部开设三个与降温管相适配的开孔，降温管能够插入这个开孔，与降温腔内部联通；/n所述第一降温管（4）、第二降温管（5）和第三降温管（6）的外表面均设置有一层隔温管（13），在隔温管的两侧均开设有固定槽（7），所述固定槽（7）的内部固定连接有固定环（8），固定环（8）卡入固定槽内，所述固定环（8）...

【技术特征摘要】
1.一种适用于真空镀膜的衬底冷却装置，包括基板（1）、材料仓（2）和降温腔（3），其特征在于：
所述基板（1）的内部开设有材料仓（2），所述基板（1）的内部材料仓周围开设有降温腔（3），所述基板（1）的底部设置有第一降温管（4）、第二降温管（5）和第三降温管（6），三个降温管结构相同；所述降温腔（3）底部开设三个与降温管相适配的开孔，降温管能够插入这个开孔，与降温腔内部联通；
所述第一降温管（4）、第二降温管（5）和第三降温管（6）的外表面均设置有一层隔温管（13），在隔温管的两侧均开设有固定槽（7），所述固定槽（7）的内部固定连接有固定环（8），固定环（8）卡入固定槽内，所述固定环（8）和基板（1）的内部均开设有螺丝孔，所述螺丝孔的内部螺纹连接有螺丝钉（9），所述固定环（8）通过螺丝钉（9）与基板（1）固定连接，所述固定环（8）与基板（1）接触面设有凹槽，所述凹槽的内部有密封垫...

【专利技术属性】
技术研发人员：鲁朝宇，张丽娟，邓荣斌，段尧，马兴民，方江璨，高思博，
申请(专利权)人：云南北方奥雷德光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：云南;53