下载半导体器件光学检测装置及检测方法的技术资料

文档序号:2564584

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本发明揭示了一种半导体器件光学检测装置,包括:光学显微镜,对半导体器件进行光学检测;光源,照射待检测的半导体器件,其中,光源产生不同颜色的光,用于宏观检测不同的半导体器件。本发明还提供一种半导体器件光学检测方法,包括:提供一产生不同颜色的光...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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