下载用于涂覆刻蚀室的粉末的技术资料

文档序号:25644925

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颗粒粉末,按数量计大于95%的所述颗粒具有大于或等于0.85的圆形度,以基于氧化物的重量百分比计,该粉末包含大于99.8%的稀土氧化物和/或铪氧化物和/或铝氧化物,并且该粉末具有:‑小于15μm的中值粒径D...
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