下载一种BAW体声波谐振器及其制备方法、滤波器的技术资料

文档序号:25642802

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本发明公开了一种BAW体声波谐振器,所述BAW体声波谐振器包括基板以及从下到上依次分布设于基底上的下声反射层、压电叠层和上声反射层;其中,所述基底为包括位于中间的凹槽部分和位于周缘的凸起部分组成的圆台结构;下声反射层位于基底的上方,并与基底...
该专利属于河源市众拓光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河源市众拓光电科技有限公司授权不得商用。

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