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微型压力传感器制造技术
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文档序号:2564123
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微型压力传感器,包括一探针壳体5,探针壳体5的一端配置有带有引压孔7的端盖1,探针壳体5内配置有集成封装在玻璃硅杯3上的硅隔离(SOI)固态压阻式芯片2,金丝9的一端与硅隔离(SOI)固态压阻式芯片2相连,另一端与电缆线11内的导线10相连...
该专利属于西安维纳信息测控有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安维纳信息测控有限公司授权不得商用。
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