下载一种磁性随机存储器顶电极接触及其制备方法的技术资料

文档序号:25641156

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本发明公开了一种磁性随机存储器顶电极接触的形成方法,包括如下步骤:步骤1:提供表面抛光的带金属通孔Vx(x≥1)的CMOS基底;步骤2:在经过平坦化处理之后的基底上,沉积底电极、磁性隧道结和顶电极膜层,然后进行磁性隧道结存储单元的制备;步骤...
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