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半导体存储装置制造方法及图纸
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文档序号:25640827
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实施方式提供一种能够较佳地控制的半导体存储装置。一实施方式的半导体存储装置具备:基板;多个第1栅极电极,配设在与基板的表面交叉的第1方向;第1半导体膜,在第1方向延伸,且与多个第1栅极电极对向;第1栅极绝缘膜,设置在多个第1栅极电极与第1半...
该专利属于东芝存储器株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东芝存储器株式会社授权不得商用。
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