下载无位移及变形器件的压力、差压传感器的技术资料

文档序号:2563998

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本实用新型公开一种测试技术领域的无位移及变形器件的压力、差压传感器,它包括一个内端面由压力腔本体、环行金属薄膜片及带有球面或圆锥面触头的刚性圆板焊接形成密封面的压力腔、刚性杠杆、支点刀口和由压电晶体组成的压电谐振力传感器等。其原理是将压力腔...
该专利属于深圳清华大学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳清华大学研究院授权不得商用。

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