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真空传感器，涉及一种传感器，尤其是涉及一种基于微机电系统（ＭＥＭＳ）技术，利用硅尖阵列的场致发射原理来测量真空度大小的微型真空传感器。提供一种具有原理简单可行、受环境影响小、加工工艺成熟简单易于集成等特点，应用范围前景广阔的真空传感器。设有...
该专利属于厦门大学所有，仅供学习研究参考，未经过厦门大学授权不得商用。

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