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公开了投影光学系统、曝光装置及物品制造方法。本发明提供了一种投影光学系统，包含第一凹反射面、第一凸反射面、第二凹反射面和第三凹反射面，其中第一凹反射面、第一凸反射面、第二凹反射面和第三凹反射面被布置使得来自物面的光通过由第一凹反射面、第一凸...
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