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一种压力传感器系统，包括在小型、空间有效的封装中的压力传感器管芯(100)和其他部件(530)，其中封装允许气体或液体到达压力传感器管芯(100)的膜(110)的一侧或两侧。封装可包括基板(200)和盖(300)，基板(200)和盖(300...
该专利属于硅微结构股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过硅微结构股份有限公司授权不得商用。

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