下载一种放电气体环境离子真空规管辅助仪器的技术资料

文档序号:2563007

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本实用新型属于真空测量技术领域,具体涉及一种放电气体环境真空规管辅助仪器。该仪器包括:两个金属网状结构的电子和离子屏蔽电极;在两个屏蔽电极之间以及一个屏蔽电极和真空室器壁之间施加两个屏蔽电压,实现第一级离子屏蔽和第二级电子屏蔽;两个绝缘支柱...
该专利属于复旦大学所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学授权不得商用。

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