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新型硅压力传感器制造技术
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文档序号:2562842
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一种新型硅压力传感器,其壳体(1)内制有硅油腔(2),硅油腔(2)中填充有硅油,硅油腔(2)的下端面通过不锈钢膜片(3)密封,硅油腔(2)的上端面固定有硅片(4),硅片(4)上连接有引线(5),且硅片(4)位于硅油腔(2)中。本实用新型使被...
该专利属于宝鸡恒通电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宝鸡恒通电子有限公司授权不得商用。
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