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本发明公开了一种基板式碳纳米管制备设备，本发明所述基板式碳纳米管制备设备在腔体中，利用石英匀气管堵制造一个恒温热场，将倾斜式沉积基板置于加热炉温区中间，加热炉升温的同时通入大量惰性气体，利用进气预热炉将惰性气体加热与三温区加热炉同步，防止大...
该专利属于合肥百思新材料研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥百思新材料研究院有限公司授权不得商用。

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