温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种可实现在机械加工时降低剥落的产生的溅射靶部件的制造方法。所述溅射靶部件的制造方法，包括：磨削烧结体的磨削步骤；在所述磨削步骤之后的切断步骤，使用旋转刀具并在所述旋转刀具与所述烧结体的接点以大于20L/分钟的量一边淋冷却水一边切...
该专利属于JX金属株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过JX金属株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。