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本申请属于短脉冲激光技术领域，特别是涉及一种直接产生双路相干光的激光器。现有的多光束激光光刻装置存在器件过多，光能利用率低，干涉条纹光强分布不均匀等缺点。本申请提供了一种直接产生双路相干光的激光器，包括依次排列的第一激光振荡组件、电光调Q组...
该专利属于长春理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过长春理工大学授权不得商用。

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