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一种基于硅的电光有源器件及其生产方法，所述器件包括：绝缘体上硅(SOI)波导；所述SOI波导的腔体内的电光有源堆叠，其中所述电光有源堆叠通过晶种层与所述电光有源器件的绝缘层隔开；以及所述电光有源堆叠与所述SOI波导之间的通道；其中所述通道填...
该专利属于洛克利光子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过洛克利光子有限公司授权不得商用。

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