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用于真空测量的电容压力传感器，涉及一种压力传感器。提供一种电容密封腔密封特性好、结构与工作特性稳定、承受过压能力强、线性度和灵敏度高、耗能低、尺寸小的电容压力传感器。设有主硅片，硅膜片上设压力感受膜，下表面设电容腔体；玻璃衬底与主硅片的下表...
该专利属于厦门大学所有，仅供学习研究参考，未经过厦门大学授权不得商用。

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