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曝光装置(EX)设置有：光源(2A、2B、2C)，其为了对光罩基板M进行照明而产生包含多个明线波长(g射线、h射线、i射线等)的光；第1照明光学系统，其具有：射入来自光源2A(2B、2C)的光且将包含多个明线波长中的至少1个特定明线波长(i...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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