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提供了通过原子层沉积和/或化学气相沉积形成含钌膜的方法。所述方法包括：将至少一种前体和无氧共反应物，比如肼或烷基肼，递送到基材以形成含钌膜，其中该至少一种前体的结构对应于式I：(L)Ru(CO)...
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