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一种单向差动压电谐振式力传感器制造技术
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下载一种单向差动压电谐振式力传感器的技术资料
文档序号:2560597
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本发明属于传感器技术领域,用于集中力的测量本发明所涉及的传感器利用两个压电石英谐振器作为敏感元件,两个敏感谐振器同时受压,特殊设计的加载方式使得其中一个谐振器受压后产生正向的频率改变而另一个谐振器受压后产生负向的频率改变,经混频后获得一个反...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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