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本发明涉及一种薄膜体声波谐振器制作方法、薄膜体声波谐振器及滤波器，其中，本发明的制作方法基于临时键合工艺，既适用于制作压电薄膜为单晶压电薄膜的体声波谐振器，又适用于制作压电薄膜为多晶压电薄膜的体声波谐振器，适用范围广，而且本申请的制作方法摒...
该专利属于北京航天微电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京航天微电科技有限公司授权不得商用。

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