下载一种背出光的面射型激光器结构及其制作方法和应用的技术资料

文档序号:25603951

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本发明公开了一种背出光的面射型激光器结构及其制作方法和应用,是在基板的正面依次层叠低反射率的底部DBR、主动区和高反射率的顶部DBR,将顶面出光改变为背面出光,同时在基板对应出光区域位置设置出光孔,使光由基板的出光孔导出。与集成电路芯片整合...
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