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本发明涉及一种大致完全由陶瓷构成的电容式真空度测量元件，所以它具有高的耐蚀性。为了高精度测出很低的压力，采用厚度〈２５０微米的很薄的陶瓷膜片，该陶瓷膜片无应力地和对称地布置在一个陶瓷外壳中。...
该专利属于尤纳克西斯巴尔策斯有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过尤纳克西斯巴尔策斯有限公司授权不得商用。

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