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本发明提供了一种鳍式场效应晶体管的制造方法，包括：在衬底上形成若干条状鳍片和虚拟栅极，所述虚拟栅极的两侧形成有侧墙；在所述条状鳍片上形成源极或漏极；沉积层间介质层，并对所述层间介质层进行化学机械平坦化CMP以露出所述虚拟栅极的顶部；在单扩散...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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