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一种真空微电子多功能传感器。在真空压力传感器的阳极版的背面制备薄膜温度传感器，所述的传感器是阵列传感器。本发明将两种传感器集成，可以形成一个双功能的传感器，既能对外界压力的分布进行测量，又能对环境的温度进行感知。...
该专利属于中国科学院电子学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院电子学研究所授权不得商用。

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