下载压力传感器、压力控制装置及压力式流量控制装置的温度漂移修正装置的技术资料

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开发一种压力传感器、压力控制装置及流量控制装置,可以自动地修正压力传感器的温度漂移,且即使温度变动,仍可正确地检测出压力。本发明的压力式流量控制装置的温度漂移修正装置是在压力式流量控制装置上使用的温度漂移修正装置,该压力式流量控制装置在节流...
该专利属于株式会社富士金;东京毅力科创株式会社;大见忠弘所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社富士金;东京毅力科创株式会社;大见忠弘授权不得商用。

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