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本发明涉及一种板式PECVD镀膜载板，包括载板，所述载板包括框架和支撑板，所述框架上开设有若干用于承载支撑板的承载槽；所述支撑板与框架配合连接；在所述支撑板的内侧边缘设有支撑硅片的承载面。本发明可灵活更换不同尺寸支撑板对相应尺寸硅片镀膜，节...
该专利属于梅耶博格光电设备(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过梅耶博格光电设备(上海)有限公司授权不得商用。

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