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一种半导体机械卡盘的清洗干燥装置和方法制造方法及图纸
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文档序号:25585178
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本发明涉及一种半导体机械卡盘的清洗干燥装置和方法,属于半导体制造技术领域,解决了现有技术中机械卡盘干燥时间长、细微部分无法干燥完全等问题。本发明清洗干燥装置,包括N...
该专利属于中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司授权不得商用。
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