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本实用新型公开了一种应用上更多元，能降低成本、耗能、故障率，并节约空间的湿制程用清洁机构，其技术手段为清洁机构能配合湿制程设备应用，清洁机构至少包括配合湿制程设备设置的机器臂机构及清洁头组；机器臂机构包含水平、垂直位移机构及机器臂、快速公接...
该专利属于佳宸科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过佳宸科技有限公司授权不得商用。

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