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一种扫描排错设备制造技术
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下载一种扫描排错设备的技术资料
文档序号:25575087
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本申请适用于工业生产自动化技术领域,提供了一种扫描排错设备,扫描设备包括光梳测距组件和扫描控制组件,光梳测距组件包括:激光发生器、第一分束镜、第二分束镜、反射镜和光电探测器,激光发生器产生信号光和本振光,信号光入射第一分束镜,本振光入射第二...
该专利属于深圳市威富视界有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市威富视界有限公司授权不得商用。
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