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本实用新型涉及纳米级定位技术领域，且公开了一种性能稳定的纳米级位置定位系统，包括恒温室，所述恒温室内设有粗级定位机构和纳米级定位机构，所述纳米级定位机构包括工作腔壳体，所述工作腔内设有变形体，所述变形体的两侧均固定连接有变形体支撑块，所述变...
该专利属于三英精控(天津)仪器设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三英精控(天津)仪器设备有限公司授权不得商用。

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