一种性能稳定的纳米级位置定位系统技术方案

本实用新型专利技术涉及纳米级定位技术领域，且公开了一种性能稳定的纳米级位置定位系统，包括恒温室，所述恒温室内设有粗级定位机构和纳米级定位机构，所述纳米级定位机构包括工作腔壳体，所述工作腔内设有变形体，所述变形体的两侧均固定连接有变形体支撑块，所述变形体支撑块的两侧和变形体的两端均设有隔热板，所述变形体上固定连接有温度感知器，所述变形体的一端固定连接有位移感知器。本实用新型专利技术提高了定位系统的稳定性，有效的提高了定位的精确度。

【技术实现步骤摘要】
一种性能稳定的纳米级位置定位系统
本技术涉及纳米级定位
，尤其涉及一种性能稳定的纳米级位置定位系统。
技术介绍
随着科学技术的快速发展，在超精密加工、纳米技术等领域，迫切需要纳米级位置定位系统。因压电陶瓷具有较好的微位移特性和可控性，故以压电陶瓷为驱动器的基于弹性铰链支撑的微位移定位机构，是当前在微位移定位领域用得最多的一种。例如中国专利授权号为CN1131124C的专利，公开了纳米级位置定位系统，其特征在于它具有恒温室，在恒温室内设有粗级定位装置和纳米级定位装置，粗级定位装置为滚珠丝杆，纳米级定位装置具有工作腔壳体，在工作腔内设有变形体，变形体两侧设有变形体支撑块，变形体支撑块两侧和变形体两端分别设有隔热板。上述专利中的纳米级位置定位系统存在以下不足：上述纳米级定位系统的一级定位是通过滚珠丝杠进行定位的，但上述纳米级定位系统的滚珠丝杠结构的限位不足，导致滚珠丝杠驱动的过程中工作腔壳体会发生倾斜，从而影响定位精度，导致定位不准确。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中滚珠丝杠驱动结构的限位不足的问本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种性能稳定的纳米级位置定位系统，包括恒温室(1)，所述恒温室(1)内设有粗级定位机构(2)和纳米级定位机构，所述纳米级定位机构包括工作腔壳体，所述工作腔内设有变形体，所述变形体的两侧均固定连接有变形体支撑块，所述变形体支撑块的两侧和变形体的两端均设有隔热板，所述变形体上固定连接有温度感知器，所述变形体的一端固定连接有位移感知器，所述变形体支撑块上设有两调温管道，所述调温管道的一端设有调温器，其特征在于，所述粗级定位机构(2)包括固定连接在工作腔壳体下侧侧壁的U型板(21)，所述U型板(21)左右两侧的侧壁均开设有螺纹孔(22)，两个所述螺纹孔(22)内螺纹套接有同一根丝杆(23)，所述丝...

【技术特征摘要】
1.一种性能稳定的纳米级位置定位系统，包括恒温室(1)，所述恒温室(1)内设有粗级定位机构(2)和纳米级定位机构，所述纳米级定位机构包括工作腔壳体，所述工作腔内设有变形体，所述变形体的两侧均固定连接有变形体支撑块，所述变形体支撑块的两侧和变形体的两端均设有隔热板，所述变形体上固定连接有温度感知器，所述变形体的一端固定连接有位移感知器，所述变形体支撑块上设有两调温管道，所述调温管道的一端设有调温器，其特征在于，所述粗级定位机构(2)包括固定连接在工作腔壳体下侧侧壁的U型板(21)，所述U型板(21)左右两侧的侧壁均开设有螺纹孔(22)，两个所述螺纹孔(22)内螺纹套接有同一根丝杆(23)，所述丝杆(23)的右端通过轴承与恒温室(1)的内壁转动连接，所述恒温室(1)右侧的侧壁开设有转动孔(24)，所述丝杆(23)穿过转动孔(24)，所述丝杆(23)的杆壁通过滚珠轴承与转动孔(24)的孔壁转动连接，所述U型板(21)左右两侧的侧壁均开设有限位孔(25)，两...

【专利技术属性】
技术研发人员：文杰，田宁宁，
申请(专利权)人：三英精控天津仪器设备有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12