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本实用新型公开了一种火花辅助化学刻蚀微结构的装置，包括：电源系统，所述电源系统包括脉冲电源，所述脉冲电源能够输出脉冲直流电压，所述脉冲直流电压具有正向偏置，所述脉冲电源的正极连接阳极，所述脉冲电源的负极连接工具电极；工作液系统，所述工作液系...
该专利属于南方科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过南方科技大学授权不得商用。

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