【技术实现步骤摘要】
一种火花辅助化学刻蚀微结构的装置
本技术涉及微结构加工领域，尤其是涉及一种火花辅助化学刻蚀微结构的装置。
技术介绍
目前在生物医疗、微反应器、微电子芯片及高端钟表面盖等领域，微结构受到广泛应用。以生物医疗中的微流控芯片为例，其内部具有大量等截面细长微沟槽，从而使其能够在几分钟甚至更短的时间进行上百个样品的同时分析，并且液体流动可控、消耗试样和试剂极少。然而由于微流控芯片的基底材料通常为玻璃(主要成分SiO2)，玻璃具有硬度高、化学稳定性好的特点，使得其表面微沟槽加工十分困难。玻璃表面微沟槽加工的常用方法有机械铣削、高温热熔加工、湿法刻蚀、火花辅助化学刻蚀等。机械铣削是以旋转的多刃铣刀作为刀具加工工件表面的一种机械加工方法，具有操作便捷、加工效率高、尺寸一致性好的特点，是玻璃材料加工的主要加工方法。但是由于机械加工中使用的刀具要求比工件材料硬度高，而玻璃本身的莫氏硬度达到8左右，故需要使用硬度更高的金刚石或立方氮化硼作为刀具，同时刀具在机械加工中存在损耗，因此玻璃的机械铣削加工成本高。并且由于玻璃属于硬脆材料，在机械加...
【技术保护点】
1.一种火花辅助化学刻蚀微结构的装置，其特征在于，包括：/n电源系统，所述电源系统包括脉冲电源，所述脉冲电源能够输出脉冲直流电压，所述脉冲直流电压具有正向偏置，所述脉冲电源的正极连接阳极，所述脉冲电源的负极连接工具电极；/n工作液系统，所述工作液系统包括加工槽，所述加工槽用以盛装电解液，在工作状态时，所述阳极和所述工具电极均位于所述电解液中。/n
【技术特征摘要】
1.一种火花辅助化学刻蚀微结构的装置，其特征在于，包括：
电源系统，所述电源系统包括脉冲电源，所述脉冲电源能够输出脉冲直流电压，所述脉冲直流电压具有正向偏置，所述脉冲电源的正极连接阳极，所述脉冲电源的负极连接工具电极；
工作液系统，所述工作液系统包括加工槽，所述加工槽用以盛装电解液，在工作状态时，所述阳极和所述工具电极均位于所述电解液中。
2.根据权利要求1所述的火花辅助化学刻蚀微结构的装置，其特征在于，所述脉冲电源为任意波形电源。
3.根据权利要求1所述的火花辅助化学刻蚀微结构的装置，其特征在于，所述脉冲电源包括电路连接的脉冲直流电压输出模块和偏置电压输出模块，所述脉冲直流电压输出模块用以产生标准脉冲直流电压，所述偏置电...
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