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本申请涉及一种超导转变边沿探测器多层超导薄膜制备方法及探测器，采用溅射沉积的方式，并根据金属合金靶材的本身热扩散程度较小的特点，设置溅射气压设置、溅射功率，可以使得第一薄膜层成膜密度更高、成膜均匀性更好。由于第一薄膜层为金属合金层，原子间不...
该专利属于中国计量科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国计量科学研究院授权不得商用。

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