温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种取代GPP工艺的新型芯片制作工艺,属于芯片加工领域。包括以下步骤:对晶圆片进行扩散、镀镍金、一次光刻、蚀刻沟槽、聚酰亚胺钝化保护;然后对晶圆进行测试,将不良芯片进行着色处理;再沿晶圆上预留的切割通道将晶圆片切割成芯片;最后将...该专利属于安徽安芯电子科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽安芯电子科技股份有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种取代GPP工艺的新型芯片制作工艺,属于芯片加工领域。包括以下步骤:对晶圆片进行扩散、镀镍金、一次光刻、蚀刻沟槽、聚酰亚胺钝化保护;然后对晶圆进行测试,将不良芯片进行着色处理;再沿晶圆上预留的切割通道将晶圆片切割成芯片;最后将...