下载带有阶梯型氧化层半导体器件及其制作方法的技术资料

文档序号:25552490

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本申请涉及半导体制造技术领域,具体涉及一种带有阶梯型氧化层半导体器件及其制作方法。其中器件包括半导体基底,半导体基底中形成有相邻N型区和P阱,相邻N型区和P阱之间形成PN结的接面;热氧化层,热氧化层覆盖在N型区上;场介电层,场介电层形成于热...
该专利属于华虹半导体(无锡)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华虹半导体(无锡)有限公司授权不得商用。

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