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一种白金电阻温度感测元件及其制造方法，该方法包括下列步骤：在基材表面形成图案状遮罩；利用遮罩对基材进行蚀刻，以形成图案状凹槽；在基材与凹槽的表面形成一层介电层；在介电层表面镀上白金薄膜；介电层及白金薄膜层分别形成凹陷区域与平滑区域；进行表面...
该专利属于光磊科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光磊科技股份有限公司授权不得商用。

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