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本发明涉及一种硅－金属双层结构薄膜热电堆。主要由硅片衬底、衬底一面上的Ｊ形或Ｌ形多晶硅或金属薄膜条、隔离绝缘层、隔离层上面的Ｌ形或Ｊ形金属或多晶硅薄膜条、测量结点和串连参考结点、输出端和衬底另一面的空穴腔构成。本发明采用分层立体设计，不但拓...
该专利属于中国科学院上海冶金研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海冶金研究所授权不得商用。

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