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本发明公开了一种光刻机投影物镜镜头的装调装置，包括底座，所述底座的上端一侧开设有圆形槽，所述圆形槽内底部转动连接有固定轴，所述底座的上端设置有矩形板，所述矩形板同轴固定连接在固定轴上端，所述矩形板侧壁内开设有装置腔，所述装置腔内底部与内顶部...
该专利属于江苏海洋大学所有，仅供学习研究参考，未经过江苏海洋大学授权不得商用。

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