【技术实现步骤摘要】
一种光刻机投影物镜镜头的装调装置
本专利技术涉及光刻机
，尤其涉及一种光刻机投影物镜镜头的装调装置。
技术介绍
光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等，其作用是用光来制作一个图形，其工作过程是在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程，将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。现有技术中对于光刻机的物镜的要求是：一、具有衍射极限的成像质量，二、高分辨率，三、大视场且畸变极小；因此，光刻投影物镜的加工、制造和装配是一个非常精密、复杂的过程。近几十年来随着半导体芯片的细微化、集成化要求的提高，人们对光刻镜头的要求也越来越高。为了实现高质量的成像性能、获得更高的分辨率，高NA投影光刻物镜要求光学元件具有亚微米级的空间位置精度以及极高的稳定性和可靠性。但是现有技术中光刻机的物镜镜头存在以下问题：第一、现有的光刻机物镜镜头在安装时需要经过较为繁琐的螺栓装配过程，不仅装配起来较为麻烦，并且当需要对物镜镜头进行拆卸更换时，也会耗费较长的时间，显得尤为麻烦；第二、现有的光刻机物镜镜头安装完...
【技术保护点】
1.一种光刻机投影物镜镜头的装调装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的上端一侧开设有圆形槽(26)，所述圆形槽(26)内底部转动连接有固定轴(27)，所述底座(1)的上端设置有矩形板(2)，所述矩形板(2)同轴固定连接在固定轴(27)上端，所述矩形板(2)侧壁内开设有装置腔(3)，所述装置腔(3)内底部与内顶部之间对称转动连接有一对螺纹杆(4)，一对所述螺纹杆(4)上均螺纹连接有丝杠螺母(5)，所述矩形板(2)的侧壁一端安装有用于驱动其中一根螺纹杆(4)转动的第一驱动机构，改根所述螺纹杆(4)的下端部安装有用于带动另一根螺纹杆(4)转动的传动机构，每个所述丝杠螺...
【技术特征摘要】
1.一种光刻机投影物镜镜头的装调装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的上端一侧开设有圆形槽(26)，所述圆形槽(26)内底部转动连接有固定轴(27)，所述底座(1)的上端设置有矩形板(2)，所述矩形板(2)同轴固定连接在固定轴(27)上端，所述矩形板(2)侧壁内开设有装置腔(3)，所述装置腔(3)内底部与内顶部之间对称转动连接有一对螺纹杆(4)，一对所述螺纹杆(4)上均螺纹连接有丝杠螺母(5)，所述矩形板(2)的侧壁一端安装有用于驱动其中一根螺纹杆(4)转动的第一驱动机构，改根所述螺纹杆(4)的下端部安装有用于带动另一根螺纹杆(4)转动的传动机构，每个所述丝杠螺母(5)侧壁上均固定连接有一对连杆(10)，所述矩形板(2)侧壁上沿竖直方向对称开设有一对与装置腔(3)连通的滑槽(9)，所述连杆(10)滑动连接在其所对应的滑槽(9)内，且多根所述连杆(10)均通过滑槽(9)贯穿至矩形板(2)外部，多根所述连杆(10)的端部共同固定连接有安装板(11)，所述安装板(11)的上端中间位置处开设有安装通孔(12)，所述安装通孔(12)内设置有物镜镜头(13)，所述矩形板(11)侧壁内沿安装通孔(12)对称开设有一对滑腔(18)，所述滑腔(18)内安装有用于固定物镜镜头(13)的固定机构，所述底座(1)侧壁内开设有空腔(30)，所述装置腔(30)内固定安装有电机(31)，所述电机(31)输出轴上安装有用于驱动固定轴(27)转动的第二驱动机构。
2.根据权利要求1所述的一种光刻机投影物镜镜头的装调装置，其特征在于，所述第一驱动机构包括转轮(6)，所述转轮(6)通过转轴(17)转动连接在矩形板(2)的侧壁上，所述转轴(17)贯穿至装置腔(3)内，且所述转轴(17)贯穿至装置腔(3)内的一端同轴固定连接有第二锥齿轮(16)，所述螺纹杆(4)的下端部同轴固定连接有第一锥齿轮(14)，所述第一锥齿轮(14)与第二锥齿轮(16)啮合，所述转轮(6)侧壁上安装有用于控制转轮(6)转动的第一控制机构。
3.根据权利要求2所述的一种光刻机投影物镜镜头的装调装置，其特征在于，所述第一控制机构包括摇杆(7)和握把(8)，所述摇杆(7)的上端固定连接在转轮(6)的侧壁非轴心处上，...
【专利技术属性】
技术研发人员：鹿国庆，高红霞，魏仙琦，薛清，王素芹，陶莎，袁冬青，
申请(专利权)人：江苏海洋大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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