温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种基于两个系列的集成热电偶（６和７）的使用的、性能改进的、微型化的硅热流传感器，所述集成热电偶（６和７）位于一个加热器（４）的两侧，它们都集成在一多孔硅薄膜（２）上，该多孔硅薄膜（２）位于一个孔（３）的顶部。其下有孔（３）的多孔...该专利属于“德默克里托斯”国家科学研究中心;阿多拉.G.那斯阿普罗所有，仅供学习研究参考，未经过“德默克里托斯”国家科学研究中心;阿多拉.G.那斯阿普罗授权不得商用。