下载一种基于硅快速合成技术的单晶硅层高效回收工艺的技术资料

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本发明公开了一种基于硅快速合成技术的单晶硅层高效回收工艺,属于半导体技术领域,一种基于硅快速合成技术的单晶硅层高效回收工艺,本方案通过将水和双载传递动子内的二氧化碳同时做为热量载体,随着双载传递动子的上下移动,将热量传递给热源收集箱内的水,...
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