温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种半导体晶锭端面垂直度测量装置，包括晶锭旋转放置机构、测量机构，本方案同时设置有晶锭旋转放置机构、测量机构，晶锭固定时，通过测量机构实现对其断面竖直方向及水平方向距离及垂直度的精确测量，该过程测量完成后，再通过晶锭旋转放置机构实现晶锭在晶...
该专利属于宁夏银和半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁夏银和半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。