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小型智能化激光光束多参量测试仪制造技术
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文档序号:2553525
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一种小型智能化激光光束多参量测试仪,它包括由光栅扫描探测机构(2)、功率计(3)和单片微机光束多参量分析装置(4)等组成,其特征在于:由单片微机控制驱动步进电机(11),通过精密丝杆(9)和定位导轨(8)带动光栅托架(14)上的光栅(15)...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。
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