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本发明提供一种具有对过渡金属含有物的优异的溶解能力，而且能够实现被处理部的优异的平滑度的药液及使用了所述药液的处理方法。本发明的药液是为了去除基板上的过渡金属含有物而使用的药液，包含高碘酸类和包含选自由IO...
该专利属于富士胶片株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过富士胶片株式会社授权不得商用。

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