下载感光性树脂组合物、树脂、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件的技术资料

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一种感光性树脂组合物、树脂、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件,所述感光性树脂组合物包含选自聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体的聚合物前体及光活性化合物,聚合物前体具有在由来自于四羧酸、四羧酸衍生物、二羧酸及二羧酸衍生物的至少一种的结构...
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